CIAT是專(zhuān)注于工業(yè)精密傳動(dòng)與智能定位系統的德國技術(shù)企業(yè),成立于1978年,總部位于慕尼黑,致力于為半導體制造、航空航天及高端機床領(lǐng)域提供高精度直線(xiàn)電機、納米級定位平臺及定制化解決方案。產(chǎn)品以亞微米級定位精度、抗干擾能力與工業(yè)級壽命為核心優(yōu)勢,廣泛應用于晶圓光刻機定位、航天器姿態(tài)校準及精密光學(xué)檢測設備場(chǎng)景。
核心產(chǎn)品系列:
工業(yè)精密傳動(dòng)系統
- CIAT-Linear系列直線(xiàn)電機:適配半導體晶圓傳輸與激光切割設備,推力范圍50-2000 N,定位精度±50 nm,重復定位精度±20 nm,支持閉環(huán)控制與動(dòng)態(tài)補償,通過(guò)ISO 230-2機床精度標準,防護等級IP65。
- CIAT-Rotary系列空心杯電機:用于光學(xué)儀器旋轉臺與醫療設備驅動(dòng),轉速0-5000 RPM,扭矩波動(dòng)≤0.1%,慣性矩優(yōu)化設計,通過(guò)MIL-STD-810G振動(dòng)測試,支持真空環(huán)境(10^-6 Torr)運行。
智能定位解決方案
- CIAT-Stage系列納米定位平臺:集成六自由度運動(dòng)控制,行程范圍50-500 mm,定位分辨率0.1 nm,熱漂移率≤0.1 μm/°C,配備激光干涉儀實(shí)時(shí)反饋,通過(guò)SEMATECH半導體設備認證。
- CIAT-Controller系列運動(dòng)控制卡:支持多軸同步插補與自適應PID算法,采樣頻率1 MHz,兼容EtherCAT/PROFINET協(xié)議,通過(guò)CE/FCC電磁兼容認證,提供LabVIEW/Python開(kāi)發(fā)接口。
熱銷(xiāo)工業(yè)型號:
- CIAT-Linear L8000:晶圓光刻機曝光臺驅動(dòng)電機,峰值加速度20g,動(dòng)態(tài)響應時(shí)間≤1 ms,內置溫度補償模塊,通過(guò)SEMI S2標準,防護等級IP67。
- CIAT-Stage NS600:航天器光學(xué)組件校準平臺,三維定位精度±100 nm,支持主動(dòng)隔振(降噪≥60 dB),通過(guò)NASA Goddard振動(dòng)測試,配備真空兼容密封結構。
- CIAT-Controller C400:多軸納米級運動(dòng)控制器,支持16軸同步控制,插補誤差≤0.1 μm,配備硬件級緊急制動(dòng)功能,通過(guò)ISO 13849安全標準。
技術(shù)優(yōu)勢:
- 超低慣性設計:直線(xiàn)電機采用輕量化磁路結構,慣性降低40%,加速性能提升30%。
- 多物理場(chǎng)耦合補償:定位平臺內置熱-機械耦合模型,環(huán)境溫度變化補償精度達±0.01 μm。
- 協(xié)議無(wú)縫集成:控制器支持OPC UA與MTConnect工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)協(xié)議,可對接MES/SCADA系統。
應用領(lǐng)域:
- 半導體制造:晶圓缺陷檢測設備定位、光刻機曝光臺驅動(dòng)。
- 航空航天:衛星光學(xué)鏡頭校準、火箭發(fā)動(dòng)機噴嘴精密裝配。
- 精密檢測:納米級3D形貌測量?jì)x、X射線(xiàn)衍射儀樣品臺。
CIAT通過(guò)德普瑞商城提供全球化供應鏈服務(wù),支持在線(xiàn)技術(shù)選型、定制化傳動(dòng)系統設計及48小時(shí)緊急交付,確保工業(yè)客戶(hù)在高精度運動(dòng)控制場(chǎng)景中快速部署納米級定位與智能傳動(dòng)解決方案。
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